微观装置的制造及其处理技术-k8凯发

本发明总体上涉及金微粒以及包括其的制品，诸如传感器。、基于溶液的化学过程在几十年前就被确立为纳米材料(纳米等离子体和半导体)自下而上生长的成功策略。如今，它是制造具有控制良好的形状、尺寸、成分和差异的几乎所有类型纳米材料的主要合成路线。、作为精确等离子体纳米结构的基础，d单晶金片的形成特别...

本发明涉及半导体，特别涉及一种mems芯片封装结构及制作方法。、在传感器类mems封装结构的市场上，微机电系统(micro-electro-mechanicalsystems，mems)芯片在诸如智能手机、健身手环、打印机、汽车、无人机以及vr/ar头戴式设备等产品领域得到了广泛的应用。m...

本发明涉及微机电，特别涉及一种惯性传感器结构与惯性传感器。、微机电(micro-electro-mechanical systems，简称mems)加速度计是微机电系统中一种常见的传感器元件，自被提出以来，经历了将近半个世纪的发展和演变。随着应用范围的逐步拓宽，加速度计广泛应用于消费电子、...

本公开涉及一种具有改进的帽的微机电系统(mems)器件以及对应制造工艺。、众所周知，如果作为对应封装的一部分的所谓的帽没有正确接地，mems器件的电学性能会随着时间的推移而劣化。事实上，在帽浮置的情况下，可能会发生不希望的放电，这可能会损坏mems器件。此外，由于作用在相对可移动质量体上的...

本发明属于半导体刻蚀，具体涉及一种深层氧化硅波导与沟槽的刻蚀工艺。、伴随着微机电系统(英文全称micro electro mechanical system，简称mems)技术的发展，硅材料开始作为一种低成本、易加工的结构材料在微电子领域中兴起。但作为一种功能材料，硅材料的性能还有很多方面...

本发明涉及压力传感器及其制备方法和在牙齿平整度检测中的应用，属于传感。、牙齿畸形是龅牙、牙齿拥挤、错颌、牙齿间隙等口腔健康问题。牙齿畸形不仅会影响个体的外貌，还可能引发咬合不准确、咀嚼困难等一系列问题。、牙科专家评估患者的牙齿畸形情况的主要手段是临床检查和影像学技术，如x射线和d扫描。这些...

本发明涉及半导体封装，具体为一种封装结构及气密性封装方法。、mems器件由于结构脆弱，一般都需要进行气密性封装，以确保mems结构稳定，功能可靠。对于特殊的器件，如mems红外器件、mems加速度计、mems陀螺仪等，需要通入保护气体封装，甚至气密性封装。、为达到保护气体封装/气密性封装，...

本发明涉及光电材料领域，特别涉及一种制备周期性弧状三角形纳米孔阵列的方法。、纳米孔阵列可以作为互补模板，用来制造贵金属(金、银、铂等)纳米柱阵列。而形成的贵金属纳米阵列所具有的表面等离子激元(surface plasmon polaritons，spp)共振效应已经在光子晶体，生物传感等领...

本发明属于柔性自供能传感器，具体涉及一种高度集成的柔性自供能传感器制备方法。、柔性传感器是一类柔性、灵活、便携的信号采集元件，在人体健康监测、医疗监护、环境监测和物流网等领域均有着广阔的发展前景。然而传统的柔性传感器需要外部电源或电池，这导致其无法长时间运行且需要频繁更换电池。此外，无论是...

本技术涉及电学辅助设备，尤其涉及一种电学辅助转移装置。、目前，随着全球变暖的日益加剧，碳中和已经成为人类社会面临的重要挑战之一；二维材料，作为一类独特的材料，因其在电子、光电子、化学、机械等多个领域中的应用而备受关注，因此，二维材料研究已经成为了热门领域之一，二维材料在能源、环保、电子、生...

本申请涉及结构设计领域，特别是涉及一种多稳态结构和电子器件。、多稳态结构指具有至少两种稳态状态的结构，多稳态结构在存储、逻辑开关、能量采集器、谐振器等领域具有极大的应用潜力。、目前的多稳态结构在实现稳态时，需要借助附加的物理场或者部件进行辅助。例如，对于一个悬臂梁结构，悬臂梁只存在一个稳态...

、常规技术微机电(mems)力裸片基于将施加的力连接到感测隔膜的中心，该感测薄膜上形成有四个压阻式应变仪。接触焊盘围绕隔膜定位，这使常规mems力裸片相对较大。此外，常规mems力裸片易碎、缺乏其它力感测技术(例如力敏电阻器)的稳健性，并且易受来自外部环境的碎屑的影响。因此，在相关领域中需...

本发明涉及一种具有隔热层的mems红外光源及其制备方法，属于半导体光电器件。、传统的红外光源体积很大且光电转换效率不高，随着半导体技术的发展，mems红外光源是一种新型的热辐射红外光源，具有体积小、响应速度快和功耗低的特点。mems红外光源采用热激发的工作方式，其红外辐射原理类似于灰体辐射...

本揭露是有关一种半导体封装及其制造方法。、由于各种电子元件(例如晶体管、二极管、电阻器、电容器等)的集成密度不断提高，半导体行业经历了快速增长。在很大程度上，这种集成密度的提高来自于反复减小最小特征尺寸(例如，将半导体工艺节点缩小到次纳米节点)，这允许将更多部件整合到给定区域中。随着对小型...

本发明属于金属材料微纳制备，具体涉及一种免刻蚀、低成本、快速制备高密度银纳米针林阵列的纳米拉印方法。、表面增强拉曼散射(sers)作为一种众所周知的无损检测技术，在分子检测、分析化学、电化学、医学诊断和生物传感等领域得到了广泛的研究。对于sers衬底，等离子体金属(au、ag和cu)纳米结...

本发明涉及传感器，尤其涉及一种mems传感器、薄膜力敏谐振元件及其制造方法。、mems微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。常见的产品包括mems加速度计、mems麦克风、微马达、微泵、微振子、me...

本发明总体上涉及光子晶体形成的领域，更具体地，涉及一种用于水性光子晶体形成的溶液的新的且有用的系统和方法。、几千年来，颜色的形成，特别是产生新的可以使用的颜色，一直是一个发展的领域。虽然研究和开发一直在继续，但颜色形成及其应用的技术主要集中在通过开发染料和颜料来开发新的颜色。、染料通常是从...

本发明属于mems，涉及一种弯扭结合的mems微梁结构。、微梁是mems器件中最常使用的连接装置之一，其结构形式及特征尺寸决定了工作过程的力学参数，如应力分布、刚度、弯曲、扭转应变等。这些力学参数直接影响微梁的疲劳寿命、静态特性和动态特性，其中应力集中严重的结构寿命较低，在工作过程中易发生...

本发明属于离子迁移传感器技术，具体涉及到用于离子迁移传感器的微电机械系统(mems)离子栅门及制备方法，更具体地为mems离子栅门及制备方法。本发明可以提高离子栅门的电极密度、共面度和热稳定性，提升离子迁移传感器物质检测分辨力，同时便于实现陶瓷迁移管的一体化封接，简化迁移管的制备过程。、离...

本发明属于光电子，尤其涉及面向晶上集成的具有耐高温垂直微镜结构的光计算芯片。、随着集成电路中晶体管尺寸不断减小，集成密度不断增大，电路中的互连线引起的信号延迟、干扰等互连效应已经成为制约集成电路发展的瓶颈。此外，高密度集成电路芯片的发热问题使得难以简单地通过三维堆叠封装工艺继续提升系统性能...