微观装置的制造及其处理技术-k8凯发

宽调谐范围的可调谐mems-vcsel.本发明涉及激光器，具体提供一种宽调谐范围的可调谐mems-vcsel。.垂直腔面发射激光器，简称(vcsel)，它具有低阈值电流、圆形光斑、高调制带宽、单纵模激射、易于实现高密度二维阵列、制作成本较低等诸多优点，在许多领域中都具有广泛...

.本发明属于微纳米马达，尤其涉及一种离子耐受性微纳米马达及其制备方法与应用。.微纳米马达是一种能够将周围环境中的化学或外部能量转化为机械运动微纳米粒。微纳米马达的自主运动特性使其在生物医学领域受到了广泛关注。与传统的处于热力学平衡态、只进行布朗运动的微纳米载体不同，微纳米马达精准的...

.本发明属于半导体集成电路制造领域，特别是mems制造工艺领域。.金、铂等重金属具有高导电性和导热性、以及优良的耐蚀性和可焊性，广泛应用于集成电路、光电元件与微机电系统等行业，上述重金属作为制造许多微纳器件或结构、特别是mems器件或结构的重要材料，还有一个优点是诸如金的薄膜制备相对容易，...

一种mems扭转镜阵列的制作方法.本发明涉及微光机电系统领域，具体而言，涉及一种mems扭转镜阵列的制作方法。.微机电系统(microelectromechanicalsystems,mems)，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的...

静电耗散聚酰胺组合物和包含其的制品.相关申请的交叉引用.本申请要求于年月日提交的美国临时申请号/以及年月日提交的欧洲专利申请号.的优先权，出于所有目的将这些申请的全部内容通过援引并入本文。.本发明涉及静电耗散聚酰胺组合物，以及还有包括此种聚合物组合物或由此种聚合物组合物制成的制品，如模制制...

一种小尺寸压力mems晶圆的贴装设备.本实用新型涉及压力传感器，尤其涉及一种小尺寸压力mems晶圆的贴装设备。.微电子机械系统(mems)在体积、功耗、重量以及价格方面具有十分明显的优势，至今已经开发出多种不同的传感器，例如压力传感器、加速度传感器、惯性传感器以及其他的传感...

.本实用新型涉及压力芯体，具体是一种具有应力缓冲槽的超低压压力芯体。.压力传感器是所有微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem，mems)技术中最早商品化且是目前最成功的产品之一，这是因为采用mems技术的压力感测芯体具有体积小、可批量制造、易于创造...

电致动器件、制造方法及控制器件.本发明涉及电制动器件结构的，尤其涉及一种电致动器件结构及电致动器件的制造方法以及具有电致动器件的控制器件。.电致动器的工作原理是将电能转化为机械能，实现这种转换的途径之一是通过驱动结构将静电力转化为机械能，即静电驱动。.在静电驱动结构中通常需...

一种自组装金纳米颗粒单层/自组装单分子膜复合膜的制备方法.本发明属于材料，具体是纳米材料制备中的一种自组装金纳米颗粒单层/自组装单分子膜的制备方法。.功能纳米颗粒的单层(如金纳米颗粒)在传感、检测、光学和电子设备等各种应用领域受到越来越多的关注。与单个纳米颗粒或块状...

.本发明属于微致动器领域，具体涉及一种新型的弹性体微结构阵列，包含光响应材料，可通过投射光来进行远程局部光致动，最终得以操控微结构软致动器阵列中特定的弹性体微结构来进行分子打印。.将控制信号转换为机械动作的致动器是现代科技的关键技术之一。近年来，由于柔性、适应性、生物相容性和多功能性，由刺...

一种mems谐振器结构及制备方法.本发明涉及微机电系统，特别是涉及一种mems谐振器结构及制备方法。.mems(microelectromechanicalsystem，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机...

一种用于光刻机照明系统的二维静电式mems微镜结构.本发明涉及微机电，特别涉及一种用于光刻机照明系统的二维静电式mems微镜结构。.mems微镜是基于微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem,mems)技术设计生产的通过镜面旋转在一维、二维...

.本发明涉及生物成形方法及微纳米机器人制造，尤其涉及一种基于小球藻的磁性球形微机器人及其制备方法和操控方法。.微纳米机器人能够将不同形式的能量转换为动能，实现在低雷诺数流体中的有效推进运动，在生物医疗、微纳操控、环境治理等领域具有重大应用潜力。微生物具有种类多样、结构复杂、成本低廉...

.本发明涉及红外传感器领域，尤其涉及一种真空封装结构及其制备方法。.红外焦平面传感器能够对外界红外辐射产生响应，是红外热成像设备的核心器件。为了让红外焦平面传感器对目标物的红外信号有较高的响应率，传感器必须真空封装，以最大程度降低其空气热导。.目前，焦平面红外传感器常用金属、陶瓷和晶圆级等...

.本发明涉及微机电(mems)装置，特别是包含空腔的微机电装置及其制造方法。.近年来，微机电(micro-electro-mechanicalsystems，mems)装置已经是能够实现的技术，并且在各种产业上也越来越受到关注。mems装置包含可移动的部分和至少一其他元件，例如压力传感器...

一种高热稳定mems压力传感器及其制备方法.本发明涉及半导体，特别涉及一种高热稳定mems压力传感器及其制备方法。.mems压力传感器是传感器家族中应用最为广泛的器件之一，主要基于半导体集成电路工艺和mems微机械加工工艺制成。根据工作原理不同，可分为压阻式、电容式和谐振式...

.本发明涉及半导体，尤其涉及一种半导体器件及其制备方法。.随着技术的发展，半导体器件广泛应用于各类电子产品。其中，麦克风是一种能量转换器件，可以将声音信号通过不同的方式转换为电信号。由于mems麦克风具有体积小、性能稳定、信噪比高、灵敏度好和响应速度快等优点，广泛应用于智能穿戴设备...

mems传感器封装结构，应用其的电子烟.本实用新型涉及mems传感器封装领域，尤其涉及一种mems传感器封装结构，应用其的电子烟。.压电传感器在实际使用过程中，输出信号往往伴有零点漂移的不良现象。据实际运用观察得知，pcba板端的热源(如mos管，充电ic等)对传感器存在严重热传导...

.本实用新型属于元件温度控制与加热的，具体涉及为一种原子蒸汽池的加热控温装置。.以光与原子相互作用的四波混频为原理的光学频率转换在近年来成为研究热点。如何提高四波混频出射光的转换效率是最为核心的指标。现阶段通过理论计算和其他研究者的工作成果表明，光学厚度（原子密度）是影响四波混频转...

.本申请涉及微机电系统，具体涉及一种储能锚点结构及微机电系统谐振器。.微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem，mems)谐振器是使机械结构在其固有频率振动的装置。近年来，基于微机电系统谐振器的振荡器引起人们越来越多的关注。微机电系统谐振器目前正被...