微观装置的制造及其处理技术-k8凯发

.本发明属于功能性微结构制备，涉及一种皮秒激光诱导一步成形石墨烯-金属异质微结构方法及装置。.石墨烯材料具有优异的电磁、光学等特性，与金属材料制备的微结构复合形成异质微结构，可实现超级储能、高频电磁波调制、宽频带高效光电探测等特殊功能，此类异质复合结构促进了太赫兹通信、医学诊断、新...

.本发明涉及使用光散射，尤其是干涉散射显微镜法或质量光度计法来检测或定量样品中的生物标志物。具体地，本发明涉及诊断与样品中的生物标志物相关的疾病或病症的方法。还提供了用于实施本发明方法的试剂盒。由于样品可能是复杂的，在存在其他组分的情况下，生物标志物可能作为次要组分存在。因此，生物标志物可能会以低...

.本发明涉及半导体加工的，具体地，涉及一种聚焦离子束悬浮微结构加工方法、其系统及悬浮微结构。.半导体加工技术是集成电路发展的基石。通过不同工艺加工的悬浮微结构主要用于微传感器、微执行器、微机械、真空微电子等领域，在消费电子、航空航天、信息技术、生物医学、环境监控、军事等领域有在广泛...

mems器件及其制造方法、电子装置.本申请涉及半导体，具体而言涉及一种mems器件及其制造方法、电子装置。.mems振镜是一种mems器件，其是一种基于微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem，mems)技术制造而成的微小可驱动反射镜。它可...

.本发明涉及用于光偏转器等的压电元件以及该压电元件的制造方法。.近年来，由mems(microelectromechanicalsystems)等具有微细构造的系统构成的传感器元件、致动器元件的需求增加。因此，对在硅晶片上直接形成压电晶体膜的直接薄膜形成法的开发在不断前进。.特别是，...

.本公开涉及微机电(mems)装置，并且特别地涉及防止可移动装置部件与固定装置部件之间不期望的接触的运动限制器。.诸如加速度计和陀螺仪的微机电(mems)装置通常包括质量元件，该质量元件悬挂于具有挠性悬挂结构的固定锚固件，该挠性悬挂结构允许质量元件相对于相邻的固定结构移动。可移动质量元件可...

具有混合资源状态的可扩展光子量子计算.相关申请的交叉引用.本申请要求于年月日提交的标题为“scalablephotonicquantumcomputingwithhybridresourcestates”的美国临时专利申请no./,的优先权和权益，其全部内容通过引用整体并入本文。技术...

高精度温度补偿压阻式位置感测系统.相关申请的交叉引用.本申请要求于年月日递交的欧洲申请.和于年月日递交的欧洲申请.的优先权，并且这些欧洲申请的全部内容通过引用并入本文中。.本发明涉及一种微机电系统、一种包括作为微反射镜阵列的这种微机电系统的可编程照射器、一种包括这种可编程照射器的光刻设备、...

含空气桥芯片的sip塑封件及其制作方法.本发明涉及集成电路封装，具体涉及一种含空气桥芯片的sip塑封件及其制作方法。.塑封器件具有体积小、重量轻、成本低、电学性能优良等特点，因此各种类型的塑封件在智能手机、汽车、医疗等各大领域被广泛应用，其中，sip塑封（又称系统级塑封）件...

.本发明涉及微系统及微纳器件，尤其涉及一种晶圆级多级气压微腔的密封方法、装置及介质。.气密密封，是微机电系统(micro-electro-mechanical-systems，mems)的陀螺仪、热辐射仪等微纳器件的关键加工工艺步骤。其目的是密封和维持特定气压的微腔环境，达到提高品...

.本发明涉及微纳加工，具体涉及一种拥有超窄表面晶格共振的无机纳米粒子阵列及其大面积制备方法。.等离、磁性和半导体无机纳米粒子因其独特的光学、磁性、电子、化学和催化特性引起了研究人员极大的关注。其中，等离纳米粒子由于其局域表面等离共振效应(lspr)成为最强大的控制光与物质的相互作用...

.本发明涉及一种用于声换能器设备的微机械构件、一种声换能器设备和一种用于制造用于声换能器设备的微机械构件的方法。微机械构件也可以构型为用作空间分辨的材料探测器、用作光学镜或用作干涉仪。.超声换能器可以构造为微电子机械系统(mems)。这种类型的、借助压电效应发出并探测超声波的设备，被称为压...

.本发明涉及半导体，具体而言涉及一种半导体器件及其制造方法和电子装置。.晶圆级封装技术是实现产品高性能、低成本和批量化的主要解决途径，晶圆级封装可以采用晶圆级键合技术来实现，例如，在mems器件上加装盖板并对二者进行键合来完成封装，因此具有批量的优点，并且可降低封装成本。.晶圆级键...

mems器件的封装方法及其结构.本发明涉及微机电系统封装，特别涉及一种mems器件的封装方法及其结构。.目前，微机电系统(microelectromechanicalsystems，mems)器件封装技术主要分为芯片级封装级和晶圆级封装。芯片级封装技术较为成熟，但封装...

.本发明涉及一种用于焊接构件的方法，该构件具有至少一个第一和/或第二结构元件区段，其中，腔尤其构造在第一和第二结构元件区段之间，其中，第一和/或第二结构元件区段具有用于将腔与构件的环境进行压力连接的开口。.文献deal公开了一种构件和方法，其中，转速传感器和加速度传感器并排构造为...

一种基于电泵浦片上ingan量子肼梁三轴加速度计及其制备方法.本发明专利涉及惯性导航，尤其涉及一种基于电泵浦片上ingan量子肼梁三轴加速度计及其制备方法。.惯性导航是一种利用惯性传感器测量运动物体的加速度和角速度来确定其位置、速度和方向的导航技术。在过去的几十年中，惯性导...

.本发明专利涉及mems微机械传感器领域，尤其涉及一种高过载水平的微波功率传感器及其控制方法。.基于微机电系统（mems）的微波技术的发展已经成为一个国家科技水平发展的重要标志。在微波的信号产生、传输及接受等各个环节的研究中，微波功率的测量是必不可少的基本测试技术。目前，传统的悬臂梁结构由...

mems开关、mems开关制备方法及功率放大器芯片.本发明涉及电子元器件，尤其涉及一种mems开关、mems开关制备方法及功率放大器芯片。.毫米波波段是指频率在ghz-ghz范围内的电磁波，其频率较高，波长短，可以实现大的通信带宽和高的传输速率，实现高分辨率的成像，因此具有...

.本发明涉及微电极制备，特别是涉及基于显微毛细管注射的单颗粒微电极制备方法。.现有技术中，单颗粒微电极的制备一般需要利用fib/sem系统(同时具有聚焦离子束和扫描电子显微镜的系统)进行操作，fib/sem系统的操作室内具有微纳操作器，微纳操作器用来夹持探针，在探针上沉积金属后完成...

.本发明涉及光纤器件和制备，尤其涉及一种单分散微球腔耦合的封装方法及器件。.回音壁模式光学微腔是一种尺寸分布从微米到毫米量级的谐振腔，可将光子长时间限制在极小空间区域中，增强光与物质的相互作用，被广泛应用于超声传感、精密传感、高速通信、光场调控等领域。.目前，常规的回音壁模式光学微...