用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置的制作方法-k8凯发

1.本实用新型涉及涂胶显影技术领域，尤其涉及一种用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置。


背景技术：

2.涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、烘烤以及显影设备，包括涂胶机、喷胶机和显影机。
此类设备一般都与光刻设备联机作业，组成配套的圆片处理与光刻生产线，与光刻机配合完成精细的光刻工艺流程。
3.自动化涂胶显影机参与光刻机的输入和输出环节，主要通过机械手使晶圆在各系统之间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程，其不仅直接影响到光刻工序细微曝光图案的形成，显影工艺的图形质量对后续蚀刻和离子注入等工艺中图形转移的结果也有着深刻的影响，是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备。
4.相关技术中，分为前道涂胶显影即集成电路前道晶圆加工领域和后道涂胶显影即集成电路后道先进封装领域，在前道涂胶显影和后道涂胶显影的光刻工序中，均涉及涂胶工艺，在涂胶工艺中需要使用喷嘴对晶圆进行加工，且喷嘴安装于喷嘴夹持装置，如公开号为cn216150261u的中国专利，其公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，涂胶显影机包括用于吸附晶圆的吸盘和用于对晶圆进行涂胶的喷嘴组件，喷嘴组件包括多个呈并列设置的喷嘴，喷嘴夹持装置包括夹持机构和驱动机构。
5.但是，在实际的涂胶过程中，夹扣式的喷嘴夹持装置在夹持喷嘴时的连接稳定性较差，降低了涂胶工艺的可控性，导致涂胶工艺难以满足涂胶的精度需求。


技术实现要素：

6.本实用新型的主要目的在于：提供一种用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置，旨在解决现有技术中，在实际的涂胶过程中，夹扣式的喷嘴夹持装置在夹持喷嘴时的连接稳定性较差，降低了涂胶工艺的可控性，导致涂胶工艺难以满足涂胶的精度需求的技术问题。
7.为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：
8.本实用新型提供了一种用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置，所述喷嘴包括喷嘴壳体，沿所述喷嘴壳体的周向在所述喷嘴壳体的一侧均匀分布有多个对接组件；
9.所述喷嘴夹持装置包括：
10.中心杆件；
11.多个支杆，多个所述支杆沿所述中心杆件的周向间隔设置于所述中心杆件，所述支杆远离所述中心杆件的一端连接有夹持组件；所述夹持组件的数量与所述对接组件的数量一致，所述夹持组件一一对应地套设于所述对接组件；
12.其中，所述夹持组件包括夹持壳体和磁吸件，所述夹持壳体的一侧向内凹陷形成有用于容纳所述磁吸件的容纳腔；所述对接组件包括对接底座和被吸附件，所述被吸附件
设置于所述对接底座，所述磁吸件用于在所述夹持壳体套设于所述对接底座时，吸附所述被吸附件。
13.可选地，上述用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置中，所述磁吸件为电磁铁。
14.可选地，上述用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置中，所述对接底座包括连接片和两个凸起部，所述连接片设置于所述喷嘴壳体的一侧，两个所述凸起部间隔设置于所述连接片，所述被吸附件设置于所述连接片，且所述被吸附件设置于两个所述凸起部之间。
15.可选地，上述用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置中，所述对接组件还包括摩擦条，所述摩擦条设置于所述凸起部背离所述连接片的一侧。
16.可选地，上述用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置中，所述凸起部的厚度自所述喷嘴壳体的边缘朝所述中心杆件的方向呈渐扩设置。
17.可选地，上述用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置中，所述容纳腔的内顶壁倾斜设置，所述容纳腔的内顶壁适配于对应的所述凸起部背离所述连接片的一侧。
18.可选地，上述用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置中，所述喷嘴壳体上还设置有接引管；
19.所述中心杆件与所述接引管间隔设置，所述中心杆件朝向所述接引管的一侧设置有非闭合的限位件。
20.可选地，上述用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置中，所述限位件朝向所述接引管的一侧设置有缓冲层。
21.可选地，上述用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置中，所述中心杆件远离所述喷嘴壳体的一端与外部的驱动机构连接，所述驱动机构用于驱动所述中心杆件移动，以使所述中心杆件带动所述夹持组件。
22.可选地，上述用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置中，所述被吸附件为铁块。
23.本实用新型提供的上述一个或多个技术方案，可以具有如下优点或至少实现了如下技术效果：
24.本实用新型提出的一种用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置，通过多个夹持组件和多个对接组件，并利用一一对应地套设于对接组件上的夹持组件，增加了夹持组件与喷嘴壳体之间的连接点数量，提升了涂胶工艺的可控性，以满足涂胶的精度需求，且利用磁吸件和被吸附件，将喷嘴壳体和夹持组件可拆卸的连接，相较于相关技术中喷嘴壳体和夹持组件的连接方式，在提升喷嘴与夹持装置之间的连接稳定性即连接强度的同时，降低了夹持装置与喷嘴之间的装配难度。
附图说明
25.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的这些附图获得其他的附图。
26.图1为本实用新型用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置的整体结构示意图；
27.图2为本实用新型用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置的侧视结构示意图；
28.图3为本实用新型涉及的对接组件的结构示意图；
29.图4为本实用新型涉及的夹持壳体的结构示意图；
30.图5为本实用新型涉及的夹持组件的结构示意图。
31.附图标号说明：
32.标号名称标号名称
100
喷嘴壳体
200
对接组件
300
中心杆件
400
支杆
500
夹持组件
600
接引管
700
限位件
210对接底座
220
被吸附件
230
摩擦条
510夹持壳体
520
磁吸件
530
容纳腔
211连接片
212凸起部
ꢀꢀ
33.本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
34.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。
基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
35.需要说明，在本实用新型实施例中，所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变，则该方向性指示也相应地随之改变。
36.在本实用新型中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者系统所固有的要素。
在没有更多限制的情况下，由语句“包括
……”
限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者系统中还存在另外的相同要素。
另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“a和/或b”为例，包括a方案、或b方案、或a和b同时满足的方案。
37.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；可以是两个元件内部的连通，也可以是两个元件的相互作用关系。
38.在本实用新型中，若有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。
由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
39.在本实用新型中，使用用于表示元件的诸如“模块”、“组件”、“件”、“部件”或“单元”的后缀仅为了有利于本实用新型的说明，其本身没有特定的意义。
因此，“模块”、“部件”或“单元”可以混合地使用。
40.对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
另外，各个实施例的技术方案可以相互结合，但是，是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时，应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。
41.下面结合一些具体实施方式进一步阐述本实用新型的实用新型构思。
42.本实用新型提出一种用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置。
43.参照图
1、图
2、图
3、图4和图5，图1为本实用新型用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置的整体结构示意图，图2为本实用新型用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置的侧视结构示意图，图3为本实用新型涉及的对接组件
200
的结构示意图，图4为本实用新型涉及的夹持壳体
510的结构示意图，图5为本实用新型涉及的夹持组件
500
的结构示意图。
44.在本实用新型一实施例中，如图
1、图
2、图
3、图4和图5所示，一种用于自动化涂胶显影机的喷嘴夹持装置，喷嘴包括喷嘴壳体
100，沿喷嘴壳体
100
的周向在喷嘴壳体
100
的一侧均匀分布有多个对接组件
200
；喷嘴夹持装置包括中心杆件
300、多个支杆
400，多个支杆
400
沿中心杆件
300
的周向间隔设置于中心杆件
300，支杆
400
远离中心杆件
300
的一端连接有夹持组件
500
；夹持组件
500
的数量与对接组件
200
的数量一致，夹持组件
500
一一对应地套设于对接组件
200
；其中，夹持组件
500
包括夹持壳体
510和磁吸件
520，夹持壳体
510的一侧向内凹陷形成有用于容纳磁吸件
520
的容纳腔
530
；对接组件
200
包括对接底座
210和被吸附件
220，被吸附件
220
设置于对接底座
210，磁吸件
520
用于在夹持壳体
510套设于对接底座
210时，吸附被吸附件
220。
45.为便于理解，下面示出一具体实施方式：
46.在夹持组件
500
未拿取即未持有对接组件
200
时，喷嘴和其对应的对接组件
200
均存放于喷嘴站中，在需要拿取喷嘴时，外部的驱动机构驱动中心杆件
300
带动夹持组件
500
移动至喷嘴站，并使中心杆件
300
带动夹持组件
500
套设于对应的对接组件
200
上。
47.在夹持壳体
510套设于对接底座
210时，对接底座
210被收容于夹持壳体
510的容纳腔
530
中，反之，容纳腔
530
中的磁吸件
520
与对接底座
210上的被吸附件
220
吸合，使得夹持壳体
510与对接底座
210限位配合。
48.外部的驱动机构驱动中心杆件
300
带动持有对接组件
200
的夹持组件
500
移动至预设位置，以进行涂胶工作。
49.需要说明的是，为了确保夹持组件
500
在持有对接组件
200
时，其自身的结构强度，支杆
400
的数量优选为三个，三个支杆
400
中任意两个支杆
400
之间的夹角为
120
°，夹持组件
500
的数量与支杆
400
的数量一致，且一一对应设置。
50.本实用新型技术方案通过多个夹持组件
500
和多个对接组件
200，并利用一一对应地套设于对接组件
200
上的夹持组件
500，增加了夹持组件
500
与喷嘴壳体
100
之间的连接点数量，提升了涂胶工艺的可控性，以满足涂胶的精度需求，且利用磁吸件
520
和被吸附件
220，将喷嘴壳体
100
和夹持组件
500
可拆卸的连接，相较于相关技术中喷嘴壳体
100
和夹持组件
500
的连接方式，在提升喷嘴与夹持装置之间的连接稳定性即连接强度的同时，降低了夹持装置与喷嘴之间的装配难度。
51.为了便于理解，继续参照图3和图
5。
52.进一步地，如图3和图5所示，在将喷嘴从喷嘴站取出或放入时，为了更利于操控夹
持组件
500
拿取或存放喷嘴，磁吸件
520
为电磁铁，电磁铁被配置为在其断电时，磁吸件
520
丧失吸合能力，在其得电时，磁吸件
520
具备吸合能力。
53.需要说明的是，电磁铁是通电产生电磁的一种装置，在铁芯的外部缠绕与其功率相匹配的导电绕组，以使铁芯磁化；另外，为了使电磁铁断电立即消磁往往采用消磁较快的的软铁或硅钢材料来制做，这样的电磁铁在通电时有磁性，断电后磁性就随之消失。
54.应当理解的是，需要拿取喷嘴站中的喷嘴时，中心杆件
300
被外部的调节结构驱动至喷嘴站后，夹持组件
500
被中心杆件
300
带动着下放并套设于对应的对接组件
200，通电以使磁吸件
520
得电，使磁吸件
520
具有磁性，从而将被吸附件
220
吸附，以使对接底座
210与夹持壳体
510限位配合；同理，需要向喷嘴站中存放喷嘴时，中心杆件
300
被外部的调节结构驱动至喷嘴站后，夹持组件
500
和对接组件
200
同时被中心杆件
300
带动着下放至喷嘴站，断开电源以使磁吸件
520
断电，使磁吸件
520
丧失磁性，从而将被吸附件
220
松开，以使对接组件
200
与夹持组件
500
分离，喷嘴因其自重，被存放至喷嘴站中。
55.为了便于理解，继续参照图
3。
56.进一步地，如图3所示，在使用喷嘴对圆晶进行涂胶时，为了进一步地防止对接组件
200
在夹持组件
500
内产生晃动，提高喷嘴的涂胶精度，对接底座
210包括连接片
211和两个凸起部
212，连接片
211设置于喷嘴壳体
100
的一侧，两个凸起部
212间隔设置于连接片
211，被吸附件
220
设置于连接片
211，且被吸附件
220
设置于两个凸起部
212之间。
57.需要说明的是，凸起部
212与夹持组件
500
中的夹持壳体
510限位配合时后，提高了对接底座
210与夹持壳体
510之间的装配强度，且在提升装配强度的同时，以减少磁吸件
520
的使用数量，从而控制了夹持装置的制造成本。
58.应当理解的是，在夹持壳体
510套设于对接底座
210时，被吸附件
220
被磁吸件
520
吸附后，两个凸起部
212分均被夹持壳体
510收容于容纳腔
530
中，即容纳腔
530
除了收容磁吸件
520，容纳腔
530
还具有容纳两个凸起部
212的容纳空间。
59.进一步地，为了提高夹持壳体
510和对接底座
210之间的装配强度，防止对接底座
210在夹持壳体
510的容纳空间内与夹持壳体
510的内壁产生相对滑动，提高喷嘴的涂胶精度，对接组件
200
还包括摩擦条
230，摩擦条
230
设置于凸起部
212背离连接片
211的一侧。
60.需要说明的是，摩擦条
230
为具有粗糙面的橡胶条，如防滑条。
61.为了便于理解，继续参照图
3。
62.进一步地，如图3所示，在外部的驱动机构驱动夹持壳体
510套设于对接底座
210的过程中，为了减小夹持壳体
510和对接底座
210之间的配合难度，更利于夹持壳体
510套设于对接底座
210，凸起部
212的厚度自喷嘴壳体
100
的边缘朝中心杆件
300
的方向呈渐扩设置。
63.需要说明的是，本实施例中所提及的厚度即为图3中的上下方向。
64.进一步地，为了在减小夹持壳体
510和对接底座
210之间的配合难度的同时，确保夹持壳体
510和对接底座
210之间的装配强度即连接强度，在夹持壳体
510套设于对接底座
210后，减少夹持壳体
510和对接底座
210之间的空隙，以减少对接底座
210在夹持壳体
510内的活动范围，从而提高喷嘴的涂胶精度，容纳腔
530
的内顶壁倾斜设置，容纳腔
530
的内顶壁适配于对应的凸起部
212背离连接片
211的一侧
65.继续参照图
1、图2和图
5。
66.进一步地，如图
1、图2和图5所示，喷嘴壳体
100
上还设置有接引管
600
；中心杆件
300
与接引管
600
间隔设置，中心杆件
300
朝向接引管
600
的一侧设置有非闭合的限位件
700。
67.需要说明的是，在使用喷嘴进行涂胶的过程中，需要将喷嘴的接引管
600
与出胶设备的出胶管连通，常需要将出胶管进行固定，以防止出胶管在涂胶过程中所产生的晃动带动接引管
600
产生晃动，从而降低喷嘴的涂胶精度，因此，为便于固定装配于接引管
600
上的出胶管，中心杆件
300
朝向接引管
600
的一侧设置有非闭合的限位件
700，限位件
700
抵靠于出胶管的一侧，以使出胶管被限位于限位件
700
和接引管
600
的侧壁之间，从而减少出胶管因驱动喷胶嘴运动而产生的晃动，以提高喷嘴的涂胶精度。
68.应当理解的是，为了进一步地减少出胶管装配于接引管
600
后所可能产生的晃动，限位件
700
朝向接引管
600
的一侧设置有缓冲层，缓冲层为橡胶层。
69.进一步地，为了便于操控夹持组件
500，以使夹持组件
500
从喷嘴站夹持并拿取喷嘴或松开并存放喷嘴，中心杆件
300
远离喷嘴壳体
100
的一端与外部的驱动机构连接，驱动机构用于驱动中心杆件
300
移动，以使中心杆件
300
带动夹持组件
500。
70.需要说明的是，驱动机构为机械臂。
71.进一步地，为了便于磁吸件
520
吸附，便于使对接底座
210和夹持壳体
510限位配合，被吸附件
220
为铁块。
72.需要说明，上述本实用新型实施例序号仅为了描述，不代表实施例的优劣。
以上实施例仅为本实用新型的可选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的实用新型构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型的专利保护范围内。