弹性波装置的制作方法-k8凯发

本公开涉及弹性波装置。

背景技术：

1、在专利文献1记载了弹性波装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、专利文献1所示的弹性波装置在工作时发热。此时，由于功能电极的汇流条电极的线膨胀率比压电层的线膨胀率大，因此存在压电层产生过度地挠曲的部分、特性劣化的可能性。

3、本公开用于解决上述问题，目的在于抑制压电层产生过度地挠曲的部分。

4、用于解决问题的技术方案

5、一个方式涉及的弹性波装置具备：支承构件，具备支承基板；压电层，设置在所述支承构件之上；和功能电极，设置在所述压电层之上，在所述支承构件，在俯视时至少一部分与所述功能电极重叠的位置有空间部，所述功能电极具有第1金属层和层叠于所述第1金属层的至少一部分的第2金属层，所述第2金属层的线膨胀系数小于所述第1金属层的线膨胀系数。

6、另一方式涉及的弹性波装置具备：支承构件，具备支承基板；压电层，设置在所述支承构件之上；和功能电极，设置在所述压电层之上以及所述压电层之下，在所述支承构件，在俯视时至少一部分与所述功能电极重叠的位置有空间部，所述功能电极具有第1金属层和层叠于所述第1金属层的至少一部分的第2金属层，所述第1金属层的线膨胀系数小于所述第2金属层的线膨胀系数。

7、发明效果

8、根据本公开，能够抑制压电层产生过度地挠曲的部分。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求8或9所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求8至10中任一项所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求1至10中任一项所述的弹性波装置，其中，

16.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置，其中，

17.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，

18.一种弹性波装置，具备：

技术总结
本发明能够抑制压电层产生过度地挠曲的部分。弹性波装置具备：支承基板构件，具备支承基板；压电层，设置在支承基板构件之上；空间部，与压电层的至少一部分重叠；和功能电极，设置在压电层之上。在支承构件，在俯视时至少一部分与功能电极重叠的位置有空间部，功能电极具有第1金属层和层叠于第1金属层的至少一部分的第2金属层，第2金属层的线膨胀系数小于第1金属层的线膨胀系数。

技术研发人员：木村哲也
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/2/8