一种晶圆检测用机柜系统的制作方法-k8凯发

本发明涉及半导体设备用服务器环控领域，具体涉及一种晶圆检测用机柜系统。

背景技术：

1、众所周知，服务器被安装在机柜中，大批量应用于数据中心，而数据中心或者机房温度通常在35℃甚至40℃以上，需要使用空调对机房环境进行降温。如果机柜数量较少时候，也会考虑单个机柜增加空调直接对服务器进行温度控制。在恶劣环境中，要保证服务器的正常运转，采用空调降温变得愈加重要。另外，服务器还对含尘量有要求，机房或者机柜还要考虑增加除尘装置。

2、然而，在半导体设备领域，服务器机柜均放置在洁净室，所处的环境温度通常稳定在24±2℃，湿度通常控制在30%-60%，完全满足服务器自身对环境温湿度的要求，如何在该环境中实现数量更多、功率更大的高性能服务器散热控制并安全可靠运行正是本发明要解决的问题。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆检测用机柜系统，其能解决上述问题。

2、发明目的：实现多数量、高性能服务器组在洁净无尘室中高效可靠地连续运转。

3、设计原理：在机柜进风口设置温湿度传感器对厂务温湿度进行监测，服务器按照1u空间间隔布置，同时，采用密封板对间隔处进行密封，确保只有服务器排出的风才能进入排风通道。在排风通道处设置温度传感器和风速传感器，用于监测排风量和排风温度，通常，排风与进风温差要小于20℃。此外，在机柜顶部设置了烟雾报警传感器，用于监测服务器异常情况的发生。为了保证机柜内部的风能够顺利排出，该方案中配置了离心风机柜，如果厂务管道在机柜出口处能够满足-500pa～-800pa负压，也可以省去离心风机柜。具体方案如下。

4、一种晶圆检测用机柜系统，包括服务器机柜、机柜进风口、排风及监测通道和厂务排风管道；在机柜进风口上设置温湿度传感器、防水顶盖和防尘网罩；在排风及监测通道处设置温度传感器和风速传感器。

5、进一步的，所述服务器机柜包括机柜壳体、多个服务器单元、供配电箱（即msu）和挡风板，多个所述服务器单元上下间隔布置，在多个服务器单元的前侧为机柜排风腔，在多个所述服务器单元的后侧为机柜进风腔；多个挡风板安装在多个服务器单元后端的相邻间隔处、服务器单元后端面与机柜壳体顶面、底面、以及供配电箱后端面的相邻间隔处；机柜进风腔由机柜进风口、机柜壳体后壁面、服务器单元后端面、供配电箱后端面以及挡风板围绕而成。

6、进一步的，所述排风及监测通道包括出风侧门板、风速传感器支架、温度传感器、防水线缆接头、风速传感器、排风通道及安装法兰；所述防水线缆接头和排风通道及安装法兰安装在出风侧门板上；所述风速传感器通过所述风速传感器支架安装在所述排风通道及安装法兰上，且传感器头径向插入排风通道内；所述温度传感器的传感器头也设置在所述排风通道及安装法兰的排风通道内。

7、进一步的，在所述排风及监测通道和厂务排风管道之间还设置一个风机柜，在风机柜中设置离心风机、变频器和被动减震器，并在风机柜的四周面板上设置吸音棉降噪。

8、进一步的，在服务器机柜内设置多条电源分配单元（pdu），并由供配电箱对电源分配单元供电，并在供配电箱内设置总电压电流检测单元。

9、机柜进风口、排风及监测通道和风机柜的进出风口处的流量截面可调的设置。

10、相比现有技术，本发明的有益效果在于：

11、1.本方案中通过风道的设计，配合风机柜，在不使用压缩机组进行降温的条件下，实现了服务器有效的散热；

12、2.本方案中通过对进出风口温度以及风量的监测，可以实时监测机柜整体的运行工况，同时也可以计算服务器散热功率，进而推断所有服务器运行的大致状态；

13、3.机柜中配置有供配电箱，将电源分配至3n条pdu，保证供电三相平衡，同时，这里设置了电源电流监测模块，可以有效保证服务器的安全运行；

14、4.进风口处为了保证设备避免水滴落入设备，增加了防护罩，为了防止碎片等杂物进入机柜影响服务器吸风，增加了防尘网。

技术特征：

1.一种晶圆检测用机柜系统，包括服务器机柜、机柜进风口（10）、排风及监测通道（4）和厂务排风管道（6）；其特征在于：

2.根据权利要求1所述的晶圆检测用机柜系统，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的晶圆检测用机柜系统，其特征在于：

4.根据权利要求1所述的晶圆检测用机柜系统，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的晶圆检测用机柜系统，其特征在于：

6.根据权利要求1所述的晶圆检测用机柜系统，其特征在于：

7.根据权利要求2所述的晶圆检测用机柜系统，其特征在于：

8.根据权利要求2所述的晶圆检测用机柜系统，其特征在于：

9.根据权利要求4所述的晶圆检测用机柜系统，其特征在于：

技术总结
本发明提供了一种晶圆检测用机柜系统，属于半导体设备用服务器环控领域，机柜系统包括服务器机柜、机柜进风口、排风及监测通道和厂务排风管道；在机柜进风口上设置温湿度传感器、防水顶盖和防尘网罩；在排风及监测通道处设置温度传感器和风速传感器。通过本方案，可以有效实现服务器的温湿度控制，运行稳定性提高，便于在半导体检测设备等领域推广应用。

技术研发人员：陶大帅,吴东,王少卿,王超新,蔡雄飞
受保护的技术使用者：苏州矽行半导体技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/8