技术特征：
1.
一种晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：包括清洁刷
、
驱动端和从动端，所述清洁刷的两端分别与驱动端和从动端可拆卸连接，所述驱动端用于驱动清洁刷转动；所述从动端包括滑动轴套和伸缩部，所述清洁刷的一端与滑动轴套可拆卸连接，所述滑动轴套可沿清洁刷的长度方向滑动，所述伸缩部用于驱动滑动轴套滑动
。2.
根据权利要求1所述的晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：所述清洁刷的两端均连接有转轴，两所述转轴可分别与驱动端和滑动轴套可拆卸连接
。3.
根据权利要求2所述的晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：所述转轴分别与驱动端和滑动轴套卡接连接或插接连接
。4.
根据权利要求3所述的晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：所述伸缩部包括挡板和电动伸缩杆，所述挡板与滑动轴套固定连接，所述滑动轴套穿过挡板，所述电动伸缩杆带动通过挡板带动滑动轴套滑动
。5.
根据权利要求4所述的晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：所述电动伸缩杆设置为两个
。6.
根据权利要求5所述的晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：所述挡板设置为椭圆形，两所述电动伸缩杆分别设置在挡板长度方向的两端
。7.
根据权利要求6所述的晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：所述挡板开设的通孔呈椭圆形
。8.
根据权利要求7所述的晶圆清洗刷辅助装置，其特征在于：所述清洁刷
、
驱动端和从动端位于同一直线上
。
技术总结
本申请提供一种晶圆清洗刷辅助装置，应用于晶圆清洗技术领域，其中包括清洁刷
技术研发人员：张帅帅 杨俊男 闫晓晖
受保护的技术使用者：上海积塔半导体有限公司
技术研发日：2023.07.21
技术公布日：2023/12/29