技术编号：36580181
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及晶圆清洗技术领域，具体涉及一种晶圆清洗刷辅助装置。背景技术.刷子是刷洗模块的核心元件，负责去除晶圆表面的残留颗粒和残留化学品。目前对刷洗模块内刷子的更换采用手动更换。.其具体操作流程为：.()拆卸刷子前，操作员将所戴手套清洁干净；.()拆卸刷子时，一只手将滑动轴套往后滑出，另一只手握住刷子前端,整体向后用力。.()当刷子前端移出后，再反向用力，将刷子后端移出。.通过上述，我们知道刷子箱体内的刷子更换需要操作员双手同时操作，而刷子箱体内部空间较小不便将刷子连带滑动套...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。