一种晶圆清洗刷辅助装置的制作方法-k8凯发

1.本技术涉及晶圆清洗技术领域，具体涉及一种晶圆清洗刷辅助装置。


背景技术：

2.刷子是刷洗模块的核心元件，负责去除晶圆表面的残留颗粒和残留化学品。
目前对刷洗模块内刷子的更换采用手动更换。
3.其具体操作流程为：
4.(1)拆卸刷子前，操作员将所戴手套清洁干净；
5.(2)拆卸刷子时，一只手将滑动轴套往后滑出，另一只手握住刷子前端
,
整体向后用力。
6.(3)当刷子前端移出后，再反向用力，将刷子后端移出。
7.通过上述，我们知道刷子箱体内的刷子更换需要操作员双手同时操作，而刷子箱体内部空间较小不便将刷子连带滑动套轴往后推动，操作不当容易损伤喷管模块。
8.基于此，需要一种新技术方案。


技术实现要素：

9.有鉴于此，本说明书实施例提供一种晶圆清洗刷辅助装置，降低了操作人员在拆卸清洗刷过程中的复杂程度，减少了空间对清洗刷拆卸过程的影响，提高了拆卸效率和安全性能。
10.本说明书实施例提供以下技术方案：一种晶圆清洗刷辅助装置，包括清洁刷、驱动端和从动端，所述清洁刷的两端分别与驱动端和从动端可拆卸连接，所述驱动端用于驱动清洁刷转动；
11.所述从动端包括滑动轴套和伸缩部，所述清洁刷的一端与滑动轴套可拆卸连接，所述滑动轴套可沿清洁刷的长度方向滑动，所述伸缩部用于驱动滑动轴套滑动。
12.可选地，所述清洁刷的两端均连接有转轴，两所述转轴可分别与驱动端和滑动轴套可拆卸连接。
13.可选地，所述转轴分别与驱动端和滑动轴套卡接连接或插接连接。
14.可选地，所述伸缩部包括挡板和电动伸缩杆，所述挡板与滑动轴套固定连接，所述滑动轴套穿过挡板，所述电动伸缩杆带动通过挡板带动滑动轴套滑动。
15.可选地，所述电动伸缩杆设置为两个。
16.可选地，所述挡板设置为椭圆形，两所述电动伸缩杆分别设置在挡板长度方向的两端。
17.可选地，所述挡板开设的通孔呈椭圆形。
18.可选地，所述清洁刷、驱动端和从动端位于同一直线上。
19.与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：
20.当需要对清洁刷进行更换时，伸缩部带动滑动轴套朝向背离清洁刷的一侧移动，直至滑动轴套与清洁刷分离，当清洁刷与滑动轴套分离时，操作人员只需要将清洁刷从驱动端上拨出即可，整个拆卸过程降低了操作人员在拆卸清洗刷过程中的复杂程度，减少了空间对清洗刷拆卸过程的影响，提高了拆卸效率和安全性能。
附图说明
21.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
22.图1是现有技术的结构示意图；
23.图2是本技术一种晶圆清洗刷辅助装置转动过程中的结构示意图；
24.图3是本技术一种晶圆清洗刷辅助装置分离过程中的结构示意图；
25.图4是本技术一种晶圆清洗刷辅助装置分离后的结构示意图。
26.图中：
1、清洁刷；
2、驱动端；
3、从动端；
4、箱体；
5、滑动轴套；
6、伸缩部；
7、转轴；
8、挡板；
9、电动伸缩杆。
具体实施方式
27.下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
28.以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。
显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。
需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
29.要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。
应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。
基于本技术，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。
举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。
另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。
30.还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
31.另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。
然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。
32.刷子是刷洗模块的核心元件，负责去除晶圆表面的残留颗粒和残留化学品。
目前
对刷洗模块内刷子的更换采用手动更换。
33.其具体操作流程为：
34.(1)拆卸刷子前，操作员将所戴手套清洁干净；
35.(2)拆卸刷子时，一只手将滑动轴套5往后滑出，另一只手握住刷子前端
,
整体向后用力。
36.(3)当刷子前端移出后，再反向用力，将刷子后端移出。
37.通过上述，如图1所示，我们知道刷子箱体4内的刷子更换需要操作员双手同时操作，即一只手抓住滑动轴套5另一只手需要握住刷子，而刷子箱体4内部空间较小不便将刷子连带滑动套轴往后推动，操作不当容易损伤喷管模块。
38.基于此，本说明书实施例提出了一种晶圆清洗刷辅助装置：如图2所示，通过控制从动端3自动伸缩，从而使得操作人员仅通过握住清洁刷1就可以将清洁刷1拆下。
39.以下结合附图，说明本技术各实施例提供的技术方案。
40.如图2所示，本说明书实施例提供一种晶圆清洗刷辅助装置，包括清洁刷
1、驱动端2和从动端3，清洁刷
1、驱动端2和从动端3位于同一直线上。
驱动端2和从动端3均与箱体4转动连接，清洁刷1的两端分别与驱动端2和从动端3可拆卸连接，驱动端2用于驱动清洁刷1转动，从动端3对清洁刷1进行支撑，共同带动清洁刷1转动。
41.从动端3包括滑动轴套5和伸缩部6，伸缩部6与箱体4的内壁连接，滑动轴套5可沿清洁刷1的长度方向伸缩或滑动。
清洁刷1的一端与滑动轴套5可拆卸连接，滑动轴套5可沿清洁刷1的长度方向滑动，伸缩部6用于驱动滑动轴套5滑动。
42.在一种可选地实施方式中，清洁刷1的两端均连接有转轴7，两转轴7可分别与驱动端2和滑动轴套5可拆卸连接。
转轴7分别与驱动端2和滑动轴套5卡接连接或插接连接。
43.如图2和3所示，当需要对清洁刷1进行更换时，伸缩部6带动滑动轴套5朝向背离清洁刷1的一侧移动，直至滑动轴套5与清洁刷1分离，当清洁刷1与滑动轴套5分离时，操作人员只需要将清洁刷1从驱动端2上拨出即可。
44.在一种可选地实施方式中，伸缩部6包括挡板8和电动伸缩杆9，电动伸缩杆9与箱体4的内壁连接，电动伸缩杆9远离箱体4的一端与挡板8连接。
挡板8与滑动轴套5固定连接，滑动轴套5穿过挡板8，电动伸缩杆9带动通过挡板8带动滑动轴套5滑动。
45.在一种可选地实施方式中，电动伸缩杆9设置为两个。
挡板8设置为椭圆形，两电动伸缩杆9分别设置在挡板8长度方向的两端。
挡板8开设的通孔呈椭圆形，滑动轴套5穿过椭圆形通孔。
46.如图2和3所示，当需要对清洁刷1进行更换时，电动伸缩杆9通过挡板8带动滑动轴套5朝向背离清洁刷1的一侧移动，直至滑动轴套5与清洁刷1分离，当清洁刷1与滑动轴套5分离时，操作人员只需要将清洁刷1从驱动端2上拨出即可，整个拆卸过程降低了操作人员在拆卸清洗刷过程中的复杂程度，减少了空间对清洗刷拆卸过程的影响，提高了拆卸效率和安全性能。
47.本说明书中，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。
尤其，对于后面说明的实施例而言，描述比较简单，相关之处参见前述实施例的部分说明即可。
48.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何
熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。