一种微晶玻璃真空镀膜方法与流程-k8凯发

本说明书涉及真空镀膜，具体涉及一种微晶玻璃真空镀膜方法。

背景技术：

1、在真空镀膜中，大口径高精度微晶玻璃多个面镀膜应用越来越多，广泛应用于高端领域，如光刻机、航空、航天领域等。大口径高精度微晶玻璃本身的加工工艺复杂，加工精度要求高，加工产品周期长，产品的价值高，在镀膜过程中容易造成产品损伤的风险。

技术实现思路

1、有鉴于此，本说明书实施例提供一种微晶玻璃真空镀膜方法，可实现对微晶玻璃两个第一侧面、两个第二侧面和两个第一斜面的镀膜，在镀膜的过程中不会对微晶玻璃造成损伤，镀膜效果好。

2、本说明书实施例提供以下技术方案：一种微晶玻璃真空镀膜方法，采用真空镀膜机对所述微晶玻璃进行镀膜，所述微晶玻璃包括上表面、下表面、两组相互对称的第一侧面、两组相互对称的第二侧面和两组相互对称的第一斜面，所述上表面开设有若干凹槽，所述第二侧面和所述第一斜面处于同一侧，对两组所述第一侧面、两组第二侧面和两组第一斜面进行镀膜，所述镀膜方法包括：

3、通过第一夹具对所述上表面和下表面进行夹持固定形成第一固定件；

4、对第一侧面进行镀膜：通过第一连接件将所述第一固定件连接在镀膜机固定件上，使得第一侧面与水平面相平行，其中一个第一侧面的中心和镀膜机电子枪的中心是一个同心圆，对该第一侧面进行镀膜，镀膜完成后，将第一固定件翻转180°，对另一个第一侧面进行镀膜；

5、对第二侧面进行镀膜：通过第二连接件将所述第一固定件连接在镀膜机固定件上，使得第二侧面与水平面相平行，其中一个第二侧面的中心和镀膜机电子枪的中心是一个同心圆，对该第二侧面进行镀膜，镀膜完成后，将第一固定件翻转180°，对另一个第二侧面进行镀膜；

6、对第一斜面进行镀膜：通过第三连接件将所述第一固定件连接在镀膜机固定件上，使得第一斜面与水平面成45°，其中一个第一斜面的中心和镀膜机电子枪的中心是一个同心圆，对该第一斜面进行镀膜，镀膜完成后，将第一固定件翻转180°，对另一个第一斜面进行镀膜。

7、优选的，所述第一夹具包括第一盖板、第二盖板和若干限位杆，所述第一盖板靠近所述上表面的一侧安装有与若干所述凹槽相对应的若干弹性定位块，所述第一盖板与所述微晶玻璃的上表面相接触，所述第二盖板与所述微晶玻璃的下表面相接触，所述限位杆对所述第一盖板和第二盖板之间进行连接。

8、优选的，所述限位杆至少设置有两组，所述限位杆设置在所述微晶玻璃的拐角处，所述限位杆靠近所述微晶玻璃的一侧开设有限位槽，所述微晶玻璃的拐角处至少部分嵌入所述限位槽内。

9、优选的，所述限位杆包括直杆段和斜杆段，所述直杆段上的限位槽与所述第一侧面和第二侧面的相交处的拐角相配合，所述斜杆段上的限位槽与所述第一侧面和第一斜面的相交处的拐角相配合。

10、优选的，所述弹性定位块在安装前还包括对弹性定位块的清洗操作，包括：

11、在纯水45℃温度下浸泡20分钟；

12、在3%碱性溶液，45℃温度下超声波清洗30分钟；

13、在纯水25℃温度下超声波30分钟。

14、优选的，所述弹性定位块包括特氟龙块，所述特氟龙块通过第一螺钉与所述第一盖板相连接，所述特氟龙块设置有四组，四组所述特氟龙块成矩形分布。

15、优选的，所述镀膜机固定件包括转接架和镀膜机固定板，所述转接架和所述镀膜机固定板之间通过第二螺钉相连接，所述镀膜机固定板安装在所述真空镀膜机的中心轴上，所述镀膜机固定板绕所述中心轴旋转。

16、优选的，所述第一连接件包括多个第一转接板，所述第一转接板与所述第一固定件之间相连接，所述第一转接板与所述转接架之间相连接。

17、优选的，所述第二连接件包括第二转接板，所述第二转接板与所述第一固定件之间相连接，所述第二转接板与所述转接架之间相连接。

18、优选的，所述第三连接件包括斜面转接板，所述斜面转接板与所述第一固定件之间相连接，使得所述第一斜面与水平面成45°，所述斜面转接板与转接架之间相连接。

19、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

20、通过第一夹具对微晶玻璃进行夹持固定形成第一固定件，通过第一连接件将第一固定件固定在镀膜机固定件上，可对微晶玻璃的第一侧面进行镀膜，通过第二连接件将第一固定件固定在镀膜机固定件上，可对微晶玻璃的第二侧面进行镀膜，通过第三连接件将第一固定件固定在镀膜机固定件上，可对微晶玻璃的第一斜面进行镀膜，可实现对微晶玻璃两个第一侧面、两个第二侧面和两个第一斜面的镀膜，在镀膜的过程中不会对微晶玻璃造成损伤，镀膜效果好。

技术特征：

1.一种微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，采用真空镀膜机对所述微晶玻璃进行镀膜，所述微晶玻璃包括上表面、下表面、两组相互对称的第一侧面、两组相互对称的第二侧面和两组相互对称的第一斜面，所述上表面开设有若干凹槽，所述第二侧面和所述第一斜面处于同一侧，对两组所述第一侧面、两组第二侧面和两组第一斜面进行镀膜，所述镀膜方法包括：

2.根据权利要求1所述的微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，所述第一夹具包括第一盖板、第二盖板和若干限位杆，所述第一盖板靠近所述上表面的一侧安装有与若干所述凹槽相对应的若干弹性定位块，所述第一盖板与所述微晶玻璃的上表面相接触，所述第二盖板与所述微晶玻璃的下表面相接触，所述限位杆对所述第一盖板和第二盖板之间进行连接。

3.根据权利要求2所述的微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，所述限位杆至少设置有两组，所述限位杆设置在所述微晶玻璃的拐角处，所述限位杆靠近所述微晶玻璃的一侧开设有限位槽，所述微晶玻璃的拐角处至少部分嵌入所述限位槽内。

4.根据权利要求3所述的微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，所述限位杆包括直杆段和斜杆段，所述直杆段上的限位槽与所述第一侧面和第二侧面的相交处的拐角相配合，所述斜杆段上的限位槽与所述第一侧面和第一斜面的相交处的拐角相配合。

5.根据权利要求2所述的微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，所述弹性定位块在安装前还包括对弹性定位块的清洗操作，包括：

6.根据权利要求2所述的微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，所述弹性定位块包括特氟龙块，所述特氟龙块通过第一螺钉与所述第一盖板相连接，所述特氟龙块设置有四组，四组所述特氟龙块成矩形分布。

7.根据权利要求1-6任一项所述的微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，所述镀膜机固定件包括转接架和镀膜机固定板，所述转接架和所述镀膜机固定板之间通过第二螺钉相连接，所述镀膜机固定板安装在所述真空镀膜机的中心轴上，所述镀膜机固定板绕所述中心轴旋转。

8.根据权利要求7所述的微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，所述第一连接件包括多个第一转接板，所述第一转接板与所述第一固定件之间相连接，所述第一转接板与所述转接架之间相连接。

9.根据权利要求7所述的微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，所述第二连接件包括第二转接板，所述第二转接板与所述第一固定件之间相连接，所述第二转接板与所述转接架之间相连接。

10.根据权利要求7所述的微晶玻璃真空镀膜方法，其特征在于，所述第三连接件包括斜面转接板，所述斜面转接板与所述第一固定件之间相连接，使得所述第一斜面与水平面成45°，所述斜面转接板与转接架之间相连接。

技术总结
本说明书实施例提供一种微晶玻璃真空镀膜方法，采用真空镀膜机对微晶玻璃进行镀膜，微晶玻璃包括上表面、下表面、两组相互对称的第一侧面、两组相互对称的第二侧面和两组相互对称的第一斜面，上表面开设有若干凹槽，第二侧面和第一斜面处于同一侧，对两组第一侧面、两组第二侧面和两组第一斜面进行镀膜，镀膜方法包括：通过第一夹具对微晶玻璃进行夹持固定形成第一固定件；对第一侧面进行镀膜；对第二侧面进行镀膜；对第一斜面进行镀膜。可实现对微晶玻璃两个第一侧面、两个第二侧面和两个第一斜面的镀膜，在镀膜的过程中不会对微晶玻璃造成损伤，镀膜效果好。

技术研发人员：侯树军,孙顺文,原清海
受保护的技术使用者：上海米蜂激光科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/8