单晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架的制作方法-k8凯发

文档序号:36577232发布日期:2023-12-30 12:39阅读:27来源:国知局
单晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅棒防护技术领域,具体涉及一种单晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架。


背景技术:

2.单晶炉拉制晶棒结束后,需要进行取棒,取棒时,由晶体提拉机构将晶棒从炉体内向下释放,再通过取棒车进行取棒,由于晶棒较长而且重量过重,晶棒与籽晶的连接处较细而且比较脆弱,晶体提拉机构对晶棒进行向下释放过程中,或晶棒受到外力的作用下会产生晃动,晃动情况严重时会导致晶棒与籽晶的连接处断裂,从而导致晶棒从炉体内脱落,造成晶棒磕碰损伤,甚至还有造成在炉体下方的工作人员受伤的情况发生。
3.授权公告号为:cn217709754u公开了一种便捷式防止晶棒晃动取棒辅助装置,通过在单晶炉副室下沿口设置支撑件,使得保护件伸入设置于单晶炉副室的下沿口内,在晶棒四周形成保护圈,缩小晶棒与副室的间隙,并对晶棒起到一定的导向作用,防止晶棒晃动,降低磕碰风险或直接磕碰副室内壁导致尾部多晶掉落甚至整棒掉落。该取棒辅助装置在取棒过程中,虽然能够减小晶棒晃动,降低晶棒与籽晶断裂的风险,但由于采用的保护件为环形设置,其底部没有防护,晶体提拉机构在释放晶棒穿过保护件过程中,一旦发生晶棒与籽晶的连接处断裂,晶棒穿过保护件还是会存在触地磕碰的风险。


技术实现要素:

4.有鉴于此,有必要提供一种防止在取棒过程中,晶棒脱落触地的单晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架。
5.一种单晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架,该晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架用于可拆卸挂接在单晶炉的炉盖下方,以对晶棒进行防脱落触地保护,所述单晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架包括横向设置的横担架和对称设置在横担架两端的挂接臂,所述挂接臂竖向设置,挂接臂的下端分别与横担架的两端固定连接,挂接臂的上端分别向横担架上方延伸,并能够对称挂接在炉盖的连接法兰两侧,以使横担架位于炉盖的正下方。
6.优选的,所述挂接臂包括上臂和下臂,所述上臂和下臂竖向设置,下臂的下端与横担架固定连接,所述上臂的下端与下臂的上端转动连接,上臂的上端能够挂接在炉盖的连接法兰上。
7.优选的,所述下臂的上端平行设置有第一连接板,所述上臂下端平行设置有第二连接板,第一连接板和第二连接板相对设置,在第一连接板和第二连接板上开设有上下贯穿的通孔,在所述通孔中设置有连接螺栓,通过连接螺栓将第一连接板和第二连接板连接,且第二连接板能够围绕连接螺栓或第一连接板平行转动。
8.优选的,所述上臂的上端设置有挂接板,所述挂接板的上端朝向炉盖的连接法兰的一侧设置有竖向的定位柱,所述炉盖的连接法兰的外缘上相对的两侧设置有定位块,所述定位块上竖向开设有定位孔,所述挂接板能够挂接在定位块上,且挂接板下端的定位柱
能够穿入所述定位孔内。
9.优选的,所述上臂和下臂分别由四根竖向设置的拉筋组成,所述下臂的四根拉筋的下端分别与横担架端部的两侧和外沿固定连接,其上端分别与第一连接板的四角固定连接,所述上臂的四根拉筋的下端分别与第二连接板的四角固定连接,其上端分别相互靠拢并与挂接板的下端固定连接,形成锥形架体。
10.优选的,所述横担架的中部设置有限位通孔,所述限位通孔正对炉盖下方的中心。
11.优选的,所述限位通孔的上端面的边沿平行设置有环形的防护垫,所述防护垫为四氟乙烯垫片。
12.本实用新型采用上述技术方案,其有益效果在于:通过在炉盖下方挂接安全挂架,使横担架正对副炉室的正下方,作为防护架体,防止副炉室中的单晶硅棒意外脱落,如单晶硅棒发生脱落,通过横担架能够承接单晶硅棒,防止单晶硅棒触地或伤人,提高了生产安全,也避免了单晶硅棒触地磕碰的情况发生。
附图说明
13.图1为该实用新型挂接状态示意图。
14.图2为该实用新型使用状态结构示意图。
15.图3为该实用新型立体结构示意图。
16.图4为该实用新型侧视结构示意图。
17.图中:炉盖10、连接法兰11、定位块12、定位孔13、单晶硅棒防脱落安全挂架20、横担架201、挂接臂202、上臂2021、下臂2022、第一连接板2023、第二连接板2024、连接螺栓2025、挂接板2026、定位柱2027、限位通孔2011、防护垫2012、副炉室30。
具体实施方式
18.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.请参看图1和图2,本实用新型实施例提供了一种单晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架20,该晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架20用于可拆卸挂接在单晶炉的炉盖10下方,以对晶棒进行防脱落触地保护,所述单晶炉用单晶硅棒防脱落安全挂架20包括横向设置的横担架201和对称设置在横担架201两端的挂接臂202,所述挂接臂202竖向设置,挂接臂202的下端分别与横担架201的两端固定连接,挂接臂202的上端分别向横担架201上方延伸,并能够对称挂接在炉盖10的连接法兰11两侧,以使横担架201位于炉盖10的正下方。
20.具体的,横担架201为平行设置的金属架体,所述挂接臂202为两个,分别竖直设置在横担架201的两端,挂接臂202的下端与横担架201固定连接,横担架201的上端沿横担架201竖直向上设置,形成u形架体,炉盖10设置在单晶炉的主炉室上方,拉晶完成后,主炉室与炉盖10分离,主炉室下降后,炉盖10下方位置空出,取单晶硅棒前,将单晶硅棒防脱落安全挂架20置于炉盖10的正下方,将单晶硅棒防脱落安全挂架20的两个挂接臂202分别挂接在炉盖10相对的两侧外沿的连接法兰11上,两个挂接臂202与炉盖10的中轴线对齐,使横担
架201位于炉盖10的正下方,作为防护架体,防止悬挂在副炉室30中的单晶硅棒脱落,如单晶硅棒发生意外脱落,通过横担架201能够承接单晶硅棒,防止单晶硅棒触地或伤人。
21.请参看图1,进一步的,所述挂接臂202包括上臂2021和下臂2022,所述上臂2021和下臂2022竖向设置,下臂2022的下端与横担架201固定连接,所述上臂2021的下端与下臂2022的上端转动连接,例如通过销接或套接的方式进行连接,上臂2021的上端设置有挂钩,挂钩向炉盖10的连接法兰11上进行挂接或进行拆卸时,上臂2021能够围绕下臂2022向炉盖10的外侧进行转动或倾斜,使上臂2021的上端与炉盖10的连接法兰11之间具有活动余量,便于上臂2021顺利挂接在炉盖10的连接法兰11上,或与连接法兰11分离,例如,在挂接时,先将上臂2021沿下臂2022向炉盖10的外侧旋转或倾斜,使上臂2021与连接法兰11挂接的上端远离连接法兰11,将上臂2021向上抬举,使上臂2021的上端越过连接法兰11后,再将其向连接法兰11方向旋转或倾斜,使其能够挂接在连接法兰11的上端,进行拆卸时,采用同样的操作方式,使上臂2021与炉盖10的连接法兰11分离。
22.请参看图1和图3,进一步的,所述下臂2022的上端平行设置有第一连接板2023,所述上臂2021下端平行设置有第二连接板2024,第一连接板2023和第二连接板2024相对设置,在第一连接板2023和第二连接板2024上开设有上下贯穿的通孔,在所述通孔中设置有连接螺栓2025,连接螺栓2025的一端穿过第一连接板2023上的通孔,另一端穿过第二连接板2024的通孔,连接螺栓2025的两端分别设置螺母固定,通过连接螺栓2025将第一连接板2023和第二连接板2024连接在一起,连接螺栓2025与第一连接板2023和第二连接板2024上的通孔具有活动间隙,第二连接板2024能够围绕连接螺栓2025或第一连接板2023平行转动或左右倾斜活动,以便于上臂2021与炉盖10的连接法兰11顺利挂接或拆卸。
23.请参看图1、图3和图4,为了使上臂2021与炉盖10的连接法兰11的挂接更加稳定,在上臂2021的上端设置有挂接板2026,所述挂接板2026的上端朝向内侧弯折,即朝向炉盖10的连接法兰11的一侧弯折,并在挂接板2026的弯折面的下端竖向设置定位柱2027,在炉盖10的连接法兰11的外缘上相对的两侧设置有定位块12,两侧的定位块12与炉盖10的中轴线对齐,在定位块12上竖向开设有定位孔13,上臂2021与炉盖10的连接法兰11进行挂接时,所述挂接板2026能够挂接在定位块12上,且挂接板2026下端的定位柱2027能够穿入所述定位孔13内,通过定位孔13与定位柱2027配合,对上臂2021进行定位,使横担架201位于炉盖10的正下方,并提高上臂2021挂接的稳定性。
24.请继续参看图3,进一步的,所述上臂2021和下臂2022分别由四根竖向设置的拉筋组成,所述下臂2022的四根拉筋的下端分别与横担架201端部的两侧和外沿固定连接,其上端分别与第一连接板2023的四角固定连接,所述上臂2021的四根拉筋的下端分别与第二连接板2024的四角固定连接,其上端分别相互向中心靠拢并与挂接板2026的下端固定连接,形成锥形架体。增加横担架201与上臂2021和下臂2022之间的稳定性,防止横担架201侧翻。
25.请继续参看图3,进一步的,所述横担架201的中部设置有限位通孔2011,所述限位通孔2011正对炉盖10下方的中心,限位通孔2011的孔径大于单晶硅棒的尖端,小于单晶硅棒的直径,如单晶硅棒从副炉室30中发生意外脱落,单晶硅棒的下端的尖端能够插在限位通孔2011中,限位通孔2011能够起到对单晶硅棒的限位作用,防止单晶硅棒从横担架201上脱落。
26.进一步的,所述限位通孔2011的上端面的边沿平行设置有环形的防护垫2012,所
述防护垫2012为四氟乙烯垫片,如单晶硅棒从副炉室30中脱落,单晶硅棒的下端插在横担架201的限位通孔2011中,通过防护垫2012能够起到对单晶硅棒的防护作用,防止单晶硅棒与横担架201硬接触。
27.本装置在具体使用时,人工将横担架201两端挂接臂202的上臂2021向外旋转或倾斜,并将横担架201平行举起,使上臂2021上设置的挂接板2026挂接在炉盖10的连接法兰11的外缘设置的定位块12上,并使定位柱2027穿入定位孔13内,使横担架201的中部设置有限位通孔2011正对副炉室30中的单晶硅棒的正下方,作为防护架体,防止副炉室30中的单晶硅棒意外脱落,如单晶硅棒发生脱落,通过横担架201能够承接单晶硅棒,防止单晶硅棒触地或伤人,提高了生产安全,也避免了单晶硅棒触地磕碰的情况发生。
28.以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本实用新型权利要求所作的等同变化,仍属于实用新型所涵盖的范围。
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