专利名称：一种oledos微显示器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种oledos微显示器件，尤其涉及该显示器件所用的玻璃板。
背景技术：
在高度信息化社会中，oledos微显示技术扮演的角色越来越重要，相比于液晶平板显示技术，oledos微显示技术是主动发光器件，具有亮度高、响应速度快，重量轻、功耗低等优点。因此，在军用头盔、医疗以及消费电子等方面具有十分广泛的应用。oledos微显示器件由硅基衬底和玻璃板组成。这些玻璃板必须满足高标准(1) 具有较高的玻璃应变温度，使玻璃基板转化成具有高热安定性；( 与硅晶体有更接近的热膨胀系数，以开启在玻璃上能镶合硅芯片的可能性；(3)耐化学性，使制作工艺能在严苛的蚀刻条件下进行；(4)不会有碱金属离子迁移出玻璃表面而破坏晶体管等组件；(5)较高的比弹性模量。
发明内容
本发明针对oledos微显示器件的玻璃板必须满足上述高标准的需求，提供一种 oledos微显示器件。
本发明解决上述技术问题的技术方案如下一种oledos微显示器件由基于cmos工艺制备的驱动芯片作为器件的阳极；在芯片表面生长有机发光材料，封盖器件顶部、具有 ito层的玻璃板作为器件的阴极，该器件玻璃板的各组分重量百分比组成为58% 64%的 sio2,8% 15% 的 b203、12% 16% 的 al203、5% 9% 的 mg0、6% 8% 的 ca0、2% 4% 的 bao、 1% 4% 的 y2o3>0% 2% 的 sno2,0 0. 5% 的 ceo2,0 1% 的 cl，0. 005% 0. 1% 的 r2o,其中，r = li，na或k，所述sno2, ceo2和cl的重量百分比不同时为o。在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。进一步，所述sw2的重量百分比含量为59% 60%。进一步，所述化03的重量百分比含量为9% 11%。进一步，所述al2o3的重量百分比含量为14% 15%。进一步，所述mgo的重量百分比含量为5% 7%。进一步，所述cao的重量百分比含量为6% 7%。进一步，所述^o3的重量百分比含量为m 3%。进一步，所述的重量百分比含量为0. 01% 0. 6%。本发明的有益效果是本发明用于oledos微显示器件的玻璃板是具有高应变点、 低膨胀系数、高弹性模量、基本无碱的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，应用在oledos微显示器件件上可以使oledos微显示器件件具有非常好的热稳定性和高可靠性。
具体实施例方式以下对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。本发明用于oledos微显示器件的玻璃板的密度小于2. 38g/cm3,20 300°c范围的平均线膨胀系数大于31x10_7°c，小于39x10_7°c，优选小于38x10_7°c ；应变点大于650°c，优选不低于660°c ；弹性模量大于7. 3kg/mm2，优选大于7. 4kg/mm2，更优选大于 7. 5kg/mm2，该玻璃应用于oledos微显示器件可以提高器件的亮度，提高器件的热稳定性和可靠性，提高器件的抗真空压力的强度。在本发明中，sio2w重量百分率为58 64%。sio2为主要的玻璃网络形成剂，可以降低玻璃的热膨胀系数和密度，提高玻璃应变点，但增加玻璃熔点。sio2含量低于58wt % 时，不易获得低膨胀、低密度和高应变点的玻璃，会降低玻璃的耐酸性等化学稳定性；sio2 含量在64衬％以上时，玻璃的高温粘度增加，造成玻璃熔制温度过高，玻璃熔制困难，优选控制58 62%，更优选控制在59 60%。b2o3既是玻璃网络形成体，又是一种助熔剂，它可以降低玻璃粘度和提高玻璃稳定性，本发明中，b2o3的重量百分率为8 15%，b2o3含量低于swt%，无法起到助熔作用，不利于降低玻璃密度，同时玻璃的抗缓冲氢氟酸溶液的能力较差，b2o3含量超过15衬％时，玻璃应变点降低太大，并降低玻璃的抗酸性，同时使玻璃的分相倾向增加，降低玻璃稳定性，优选控制在8 12%，更优选控制在9 11%。al2o3可以显著提高玻璃的应变点和弹性模量，增加玻璃的化学稳定性，还可以增加玻璃稳定性，降低玻璃的热膨胀系数，al2o3的另一优点是可以提高玻璃的弹性模量。 al2o3含量低于12wt%，不易获得高应变点的无碱玻璃，玻璃化学稳定性不足，不利于提高玻璃的弹性模量；al2o3含量大于16衬％会显著增加玻璃的高温粘度，使熔制温度升高，优选控制在13 16%，更优选控制在14 15%。mgo具有降低玻璃高温粘度、增加低温粘度的作用，还可明显提高玻璃的弹性模量。本发明中，其含量限定在5 9wt%，mgo含量高于9wt%，会降低玻璃稳定性，增加液相温度，使玻璃抗失透能力下降。为提高玻璃的弹性模量，优选控制在5 8%，更优选控制在5 7%。cao同样具有降低玻璃高温粘度、增加低温粘度的作用，起到助熔剂作用，并可以增加玻璃耐酸性。本发明中，cao含量限定在6 8wt%之间，cao含量大于8wt%，会使玻璃膨胀系数增加过大，玻璃的抗冲氢氟酸溶液能力下降，并降低玻璃稳定性，使玻璃失透倾向增加；cao含量小于6wt %，对降低玻璃熔制温度和提高玻璃抗酸性不利，优选控制在6 7%。bao具有增加玻璃化学稳定性和提高玻璃抗失透的作用，本发明发现通过在没有氧化锶时加入氧化钡，一方面，可以达到很低的密度，另一方面，可以达到高的比弹性模量， 还满足对于粘度曲线和高转变温度的特别需要。y2o3可以显著地提高玻璃的弹性模量，并可降低玻璃的熔化温度，本发明中，y2o3 的含量为1 4wt%。y2o3的含量超过4wt%时，对玻璃析晶稳定性不利，并过于增加玻璃成本，优选控制在2 4%，更优选控制在2 3%。碱金属氧化物r2o (r = li，na或k)可以显著地降低玻璃的熔化温度，还可以抑制玻璃的分相，从而提高玻璃的析晶稳定性，但在液晶面板制造过程中，由于碱金属氧化物损害半导体膜的性能，其含量受到限制。本发明中，碱金属氧化物r2o的含量不超过0. oswt%,较好不超过0. 06wt% ；由于玻璃中的碱金属氧化物r2o是无法避免的，优选控制在0. 01 0. 6%。本发明的玻璃中还含有至少一种选自下列组分的澄清剂0 2%的sno2,0 0. 5% 的ce02，0 1%的cl。澄清剂的含量主要是为了提高玻璃的熔制质量，减少玻璃中的气泡， 但过多的澄清剂会导致玻璃稳定性下降，也会对玻璃的其它性质造成不利的影响。玻璃中的cl可通过与玻璃成分中氧化物对应的氯化物，cacl2, mgcl2, bacl2等。实施例1
玻璃应用常规的浮法玻璃工艺成型。具体操作为该oledos微显示器件玻璃基板的玻璃配合料含有石英砂、氧化铝、硼酸、碳酸钙、碳酸钡与混合稀土氧化物，其基本玻璃氧化物的重量百分含量为60%的sio2,9%的b2o3>12%的al2o3>7%的mgo,6%的cao,3%的bao, 1. 5% 的 y2o3>1% 的 sno2,0. 05% 的 r2o(r = li，na 或 k) ,0. 45% 的 ceo2。控制玻璃液流熔化时间为6 8小时左右，该熔化池内熔化温度为1550°c，澄清均化温度为1590°c，成型温度为1240°c，液相温度为1130°c，退火温度为710°c。使用真空泵将玻璃液上部空间的压力控制在200乇以下，玻璃液能够得到充分的澄清均化，然后进入工作池。利用上述方法加工成型的oledos微显示器件基板玻璃的性能指标如下(1)应变温度680°c; (2)平均线热膨胀系数(α 20 3000c ) 38x io^v0c ； (3)密度2. 375g/cm 3 ； (4)弹性模量为 7. 4kg/mm2, 该玻璃的应用使oledos微显示器件件具有更高的亮度和非常好的热稳定性和高可靠性。实施例2
玻璃的制备方法同实施例一，其不同处在于oledos微显示器件玻璃基本氧化物组分含量不同，其基本玻璃氧化物的重量百分含量为58%的si02、10%的b203、13%的al203、6% 的 mg0、7% 的 ca0、2. 5% 的 ba0、2% 的 y203、1% 的 sno2,0. 1% 的 r2o(r = li，na 或 k)，0. 4% 的 ce02。制备出来的oledos微显示器件基板玻璃的性能指标如下(1)应变温度670°c ； (2) 平均线热膨胀系数(a20 30(tc) :37x 10-7/oc ； (3)密度2· 377g/cm3 ； (4)弹性模量为 7. 5kg/mm2,该玻璃特别适合用于制造平板显示器玻璃基板。其中，玻璃的密度p采用阿基米德法测定；20 300°c的热膨胀系数采用膨胀计测量，以平均膨胀系数表示；玻璃的应变点采用astmc598所规定的弯梁法测定；通过共振法测定弹性模量。通过实施例1和2各项理化性能要求，完全能够满足oledos微显示器件显示屏基板玻璃制造工艺要求，与现有基板玻璃相比，工艺简单，玻璃液易于熔化、澄清、均化，玻璃密度更低，弹性模量更高，是适合大规模浮法工艺生产的oledos微显示器件基板玻璃。以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种oledos微显示器件，由基于cmos工艺制备的驱动芯片作为器件的阳极；在芯片表面生长有机发光材料，封盖器件顶部、具有ito层的玻璃板作为器件的阴极，其特征在于，所述玻璃板的各组分重量百分比组成为58% 64%的si02、8% 15%的b203、12% 16% 的 al203、5% 9% 的 mg0、6% 8% 的 ca0、2% 4% 的 bao、1% 4% 的 &03、0% 2% 的 sno2, o 0. 5% 的 ceo2,0 1% 的 c1，0. 005% 0. 1% 的 r20，其中，r = li，na 或 k，所述 sno2, ceo2和cl的重量百分比不同时为0。
2.根据权利要求1所述的用于oledos微显示器件，其特征在于，所述玻璃板sio2的重量百分比含量为59% 60%。
3.根据权利要求1所述的oledos微显示器件，其特征在于，所述玻璃板化03的重量百分比含量为9% 11%。
4.根据权利要求1所述的用于oledos微显示器件，其特征在于，所述玻璃板al2o3的重量百分比含量为14% 15%。
5.根据权利要求1所述的用于oledos微显示器件，其特征在于，所述玻璃板mgo的重量百分比含量为5% 7%。
6.根据权利要求1所述的用于oledos微显示器件，其特征在于，所述玻璃板cao的重量百分比含量为6% 7%。
7.根据权利要求1所述的用于oledos微显示器件，其特征在于，所述玻璃板io3的重量百分比含量为m 3%。
8.根据权利要求1所述的用于oledos微显示器件，其特征在于，所述玻璃板r2o的重量百分比含量为0. 01% 0. 6%o
全文摘要
本发明涉及一种oledos微显示器件，尤其涉及该显示器所用的玻璃板。器件中所述用于oledos微显示器件的玻璃板的各组分重量百分比组成为58%～64%的sio2、8%～15%的b2o3、12%～16%的al2o3、5%～9%的mgo、6%～8%的cao、2%～4%的bao、1%～4%的y2o3、0%～2%的sno2，0～0.5%的ceo2，0～1%的cl，0.005%～0.1%的r2o。本发明用于oledos微显示器件的玻璃板是具有高应变点、低膨胀系数、高弹性模量、基本无碱的高弹性模量的铝硼硅酸盐玻璃，应用在oledos微显示器件上可以使oledos微显示器件具有非常好的热稳定性和高可靠性。
文档编号h01l51/52gk102306708sq20111025976
公开日2012年1月4日 申请日期2011年9月5日 优先权日2011年9月5日
发明者杜寰, 赵毅, 韩郑生 申请人:中国科学院微电子研究所