快速及模糊的图案分组的制作方法-k8凯发

本发明大体上涉及用于确定样品的信息的方法及系统。某些实施例涉及用于基于散列码及任选地k最近邻方法进行缺陷或图案分组的方法及系统。

背景技术：

1、以下描述及实例不因它们包含在本章节中而被承认是现有技术。

2、制造半导体装置(例如逻辑及存储器装置)通常包含使用大量半导体制造工艺处理衬底(例如半导体晶片)以形成半导体装置的各种特征及多个层级。例如，光刻是涉及将图案从光罩转移到布置在半导体晶片上的抗蚀剂的半导体制造工艺。半导体制造工艺的额外实例包含(但不限于)化学机械抛光(cmp)、蚀刻、沉积及离子植入。多个半导体装置可制造在单一半导体晶片上的布置中且接着被分成个别半导体装置。

3、在半导体制造工艺期间的各个步骤处使用检验工艺来检测样品上的缺陷以驱动制造工艺中的更高良率及因此更高利润。检验始终是制造半导体装置的重要部分。然而，随着半导体装置的尺寸减小，检验对于可接受半导体装置的成功制造变得更为重要，这是因为较小缺陷可能引起装置故障。

4、在许多检验工艺中，一种用于处置结果的非常有用方式是基于缺陷位于其上、内及/或附近的图案对缺陷分组。为了容易起见，所有此类图案在本文中统称为“背景图案”。出于数个原因，基于它们的背景图案对缺陷分组可为有用的。例如，如果可基于它们的背景图案对缺陷排序，那么可识别展现最高缺陷率的背景图案。接着，可进一步分析那些经识别背景图案以确定在它们中为何检测如此多的缺陷。另外，如果已知一些背景图案非所关注或易于为扰乱点而非真实缺陷，那么可从结果挑出并忽略或删除在此类背景图案中检测到的任何缺陷。

5、已开发用于基于它们背景图案对缺陷分组的若干方法。一种此方法包含从图像裁切缺陷位置周围的图块且逐一比较所有缺陷对的经裁切图块。这种方法还包含将具有高类似性分数的缺陷放入同一群组中且分离具有低类似性分数的缺陷对。逐像素移动缺陷，基于两个缺陷的强度差异而确定缺陷对的类似性。另一此方法类似于上文描述的方法，但通过归一化互相关(ncc)算法替换逐像素移动。

6、尽管已广泛实施用于基于背景图案对缺陷分组的这些及其它当前可用方法，但它们具有若干重要缺点。例如，在上文描述的两种方法中，需要比较所有缺陷对，这在计算上是昂贵的。特定来说，如果所有缺陷的数目是n，那么需要n*n/2个比较。另外，上文描述的两种方法无法处置模糊类似性，这表示存在在形状上非常类似但不完全相同的一些图案。以这种方式，强度差异及ncc分数均无法处置模糊类似性。在上文描述的第一方法中，强度差异检查非常缓慢。在最坏情况中，对于每一缺陷对的单一比较需要n*n个子比较。此外，上文描述的两种方法的类似性检查适用于整个缺陷图块。因而，不存在专注于缺陷周围的像素或触碰缺陷的图案的机制。

7、因此，开发没有上文描述的一或多个缺点的用于确定样品的信息的系统及方法将是有利的。

技术实现思路

1、各种实施例的以下描述不应以任何方式被解释为限制所附权利要求书的主题。

2、一个实施例涉及一种系统，其包含计算机子系统，所述计算机子系统经配置用于移除样品图像中的不触碰在所述样品图像中检测到的缺陷的一或多个图案，由此产生经修改样品图像。所述计算机子系统还经配置用于产生用于所述经修改样品图像的一或多个散列码。另外，所述计算机子系统经配置用于基于所述一或多个散列码与对于为第二样品图像产生的第二经修改样品图像产生的一或多个其它散列码之间的距离而将所述样品图像指派给多个群组中的一者。可如本文中描述那样进一步配置所述系统。

3、另一实施例涉及一种用于确定样品的信息的计算机实施方法。所述方法包含由计算机系统执行的上文描述的移除、产生及指派步骤。可如本文中进一步描述那样执行所述方法的所述步骤中的每一者。所述方法可包含本文中描述的(若干)任何其它方法的(若干)任何其它步骤。所述方法可由本文中描述的系统中的任一者来执行。

4、额外实施例涉及一种存储程序指令的非暂时性计算机可读媒体，所述程序指令可在计算机系统上执行以执行用于确定样品的信息的计算机实施方法。所述计算机实施方法包含上文描述的方法的步骤。可如本文中描述那样进一步配置所述计算机可读媒体。可如本文中进一步描述那样执行所述计算机实施方法的所述步骤。另外，所述程序指令可对于其执行的计算机实施方法可包含本文中描述的(若干)任何其它方法的(若干)任何其它步骤。

技术特征：

1.一种经配置以确定样品的信息的系统，其包括：

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个散列码包括用于所述经修改样品图像的第一散列码及用于所述经修改样品图像的经旋转版本的第二散列码。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个散列码包括用于所述经修改样品图像的第一散列码及用于所述经修改样品图像的经翻转版本的第二散列码。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个散列码包括用于所述经修改样品图像的第一散列码及用于所述经修改样品图像的经平移版本的第二散列码。

5.根据权利要求1所述的系统，其中产生所述一或多个散列码包括从所述经修改样品图像产生频域图像，选择所述频域图像的低频分量及将所述低频分量转换成所述一或多个散列码的向量。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述计算机子系统进一步经配置用于确定所述距离，且其中所述一或多个散列码与所述一或多个其它散列码之间的所述距离包括余弦向量距离。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述计算机子系统进一步经配置用于通过以下动作确定所述一或多个散列码与所述一或多个其它散列码之间的所述距离：确定所述一或多个散列码中的第一者与所述一或多个其它散列码中的第一者之间的第一余弦向量距离；确定所述一或多个散列码中的所述第一者与用于所述第二经修改样品图像的经更改版本的所述一或多个其它散列码中的第二者之间的第二余弦向量距离；确定所述第一及第二余弦向量距离的最大值；及将所述一或多个散列码与所述一或多个其它散列码之间的所述距离设置为等于所述最大值。

8.根据权利要求7所述的系统，其中将所述样品图像指派给所述多个群组中的所述一者包括如果所述一或多个散列码与所述一或多个其它散列码之间的所述距离大于阈值，那么将所述样品图像及所述第二样品图像指派给所述多个群组中的所述一者。

9.根据权利要求7所述的系统，其中所述第二经修改样品图像的所述经更改版本是所述第二经修改样品图像的经旋转版本。

10.根据权利要求7所述的系统，其中所述第二经修改样品图像的所述经更改版本是所述第二经修改样品图像的经翻转版本。

11.根据权利要求7所述的系统，其中所述第二经修改样品图像的所述经更改版本是所述第二经修改样品图像的经平移版本。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述计算机子系统进一步经配置用于通过以下动作对在所述样品上检测到的缺陷分类：将第一分类指派给所述样品图像及经指派给所述多个群组中的所述一者的所有其它样品图像；及将第二分类指派给经指派给所述多个群组中的第二者的所有额外样品图像。

13.根据权利要求1所述的系统，其中所述计算机子系统进一步经配置用于基于在所述样品图像中检测到的所述缺陷的属性将经指派给所述多个群组中的所述一者的所述样品图像重新指派给多个最终群组中的一者。

14.根据权利要求13所述的系统，其中所述重新指派包括使用k最近邻方法从在经指派给所述多个群组中的所述一者的其它样品图像中检测到的缺陷寻找所述缺陷的k个最近缺陷；确定所述缺陷的所述属性与所述k个最近缺陷中的一者的属性之间的差；确定所述差是否小于阈值；及当所述差小于所述阈值时，将所述样品图像及对应于所述k个最近缺陷的所述一者的所述其它样品图像中的一者指派给所述多个最终群组中的所述一者。

15.根据权利要求13所述的系统，其中所述k最近邻方法是k维树。

16.根据权利要求13所述的系统，其中所述缺陷的所述属性是所述缺陷的强度。

17.根据权利要求13所述的系统，其中所述缺陷的所述属性是所述缺陷的颜色。

18.根据权利要求13所述的系统，其中所述缺陷的所述属性是所述缺陷的大小。

19.根据权利要求13所述的系统，其中所述缺陷的所述属性是所述缺陷的纵横比。

20.根据权利要求13所述的系统，其中所述缺陷的所述属性包括与所述属性相关的一组值，且其中所述一组值包括所述样品图像及在所述样品上的所述缺陷的位置处产生的一或多个其它样品图像中的所述缺陷的所述属性的均值及标准偏差以及对于所述样品图像及所述一或多个其它样品图像产生的每一梯度图像中的所述缺陷的所述属性的均值及标准偏差。

21.根据权利要求13所述的系统，其中所述计算机子系统进一步经配置用于通过以下动作对在所述样品上检测到的缺陷分类：将第一分类指派给所述样品图像及经指派给所述多个最终群组中的所述一者的所有其它样品图像；及将第二分类指派给经指派给所述多个最终群组中的第二者的所有额外样品图像。

22.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品图像是使用光来产生。

23.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品图像是使用电子来产生。

24.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品图像是对于掩模产生。

25.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品图像是对于晶片产生。

26.一种存储程序指令的非暂时性计算机可读媒体，所述程序指令能够在计算机系统上执行以执行用于确定样品的信息的计算机实施方法，其中所述计算机实施方法包括：

27.一种用于确定样品的信息的计算机实施方法，其包括：

技术总结
本发明提供用于确定样品的信息的方法及系统。一种系统包含计算机子系统，所述计算机子系统经配置用于移除样品图像中的不触碰在所述样品图像中检测到的缺陷的一或多个图案，由此产生经修改样品图像。所述计算机子系统还经配置用于产生用于所述经修改样品图像的一或多个散列码。另外，所述计算机子系统经配置用于基于所述一或多个散列码与对于为第二样品图像产生的第二经修改样品图像产生的一或多个其它散列码之间的距离而将所述样品图像指派给多个群组中的一者。

技术研发人员：廖康佳,焦静,胡长青,v·托拉尼
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/8