本公开涉及弹性波装置。
背景技术:
1、在专利文献1记载了弹性波装置。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1:日本特开2012-257019号公报
技术实现思路
1、发明要解决的问题
2、专利文献1所示的弹性波装置在工作时发热。此时,由于功能电极的汇流条电极的线膨胀率比压电层的线膨胀率大,因此存在压电层产生过度地挠曲的部分、特性劣化的可能性。
3、本公开用于解决上述问题,目的在于抑制压电层产生过度地挠曲的部分。
4、用于解决问题的技术方案
5、一个方式涉及的弹性波装置具备:支承构件,具备支承基板;压电层,设置在所述支承构件之上;和功能电极,设置在所述压电层之上,在所述支承构件,在俯视时至少一部分与所述功能电极重叠的位置有空间部,所述功能电极具有第1金属层和层叠于所述第1金属层的至少一部分的第2金属层,所述第2金属层的线膨胀系数小于所述第1金属层的线膨胀系数。
6、另一方式涉及的弹性波装置具备:支承构件,具备支承基板;压电层,设置在所述支承构件之上;和功能电极,设置在所述压电层之上以及所述压电层之下,在所述支承构件,在俯视时至少一部分与所述功能电极重叠的位置有空间部,所述功能电极具有第1金属层和层叠于所述第1金属层的至少一部分的第2金属层,所述第1金属层的线膨胀系数小于所述第2金属层的线膨胀系数。
7、发明效果
8、根据本公开,能够抑制压电层产生过度地挠曲的部分。
1.一种弹性波装置,具备:
2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其中,
4.根据权利要求1至3中任一项所述的弹性波装置,其中,
5.根据权利要求1至4中任一项所述的弹性波装置,其中,
6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置,其中,
7.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置,其中,
8.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置,其中,
9.根据权利要求8所述的弹性波装置,其中,
10.根据权利要求8或9所述的弹性波装置,其中,
11.根据权利要求8至10中任一项所述的弹性波装置,其中,
12.根据权利要求10所述的弹性波装置,其中,
13.根据权利要求12所述的弹性波装置,其中,
14.根据权利要求8所述的弹性波装置,其中,
15.根据权利要求1至10中任一项所述的弹性波装置,其中,
16.根据权利要求1至7中任一项所述的弹性波装置,其中,
17.根据权利要求10所述的弹性波装置,其中,
18.一种弹性波装置,具备: